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红外气体传感器SiF4/WF6/CF4/SF6/NF3/CO2

红外气体传感器是由凯时首页·(中国区)官方网站自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。
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产品特性

技术参数

检测原理 NDIR
检测气体 SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程 1~264ppm(0~200mTorr)
重复性 ±0.5%
线性 ±1%F.S.
检测限 1ppm
以上功能和规格请以正式产品技术规格书为准。如需获取更多技术信息，请联系：027-81628813
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